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該設(shè)備為光學(xué)膜系專用真空鍍膜設(shè)備,匹配高、低溫環(huán)境獲得功能,光學(xué)膜厚檢測(cè)功能,雙離子輔助沉積功能,能進(jìn)行多種光學(xué)膜系工藝制備,在窄帶濾光膜工藝制備方面有著不俗表現(xiàn)。設(shè)備穩(wěn)定性好,鍍膜重復(fù)性高。
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SXZ800-1/G箱式真空鍍膜系統(tǒng)(電子束蒸發(fā))
低振動(dòng)高真空光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
SZZ500C鐘罩式真空鍍膜機(jī)
SXZ1300-1/G箱式真空鍍膜系統(tǒng)(電子束蒸發(fā))
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