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真空機(jī)組是由泵、閥門(mén)、管路、測(cè)量?jī)x及控制系統(tǒng)等組成的真空抽氣系統(tǒng)?？筛鶕?jù)用戶(hù)的被抽容器提出的要求對(duì)真空度、抽氣速率及排氣時(shí)間進(jìn)行高真空泵的選擇（低溫泵、分子泵、擴(kuò)散泵等），并配以相應(yīng)的前級(jí)泵組，設(shè)計(jì)制造出相應(yīng)合理、實(shí)用的真空機(jī)組。