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真空機組是由泵、閥門、管路、測量儀及控制系統(tǒng)等組成的真空抽氣系統(tǒng)。可根據用戶的被抽容器提出的要求對真空度、抽氣速率及排氣時間進行高真空泵的選擇(低溫泵、分子泵、擴散泵等),并配以相應的前級泵組,設計制造出相應合理、實用的真空機組。
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真空機組
SXZ1400-1G型高真空光學鍍膜系統(tǒng)
SXZ3200-1/G箱式真空鍍膜系統(tǒng)(電子束蒸發(fā))
SXZ2200-1/G箱式真空鍍膜系統(tǒng)(電子束蒸發(fā))
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