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該設(shè)備應(yīng)用于大型望遠(yuǎn)鏡--1.6米量級主鏡鍍膜應(yīng)用的真空鍍膜系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用該系統(tǒng)采用電阻式蒸發(fā)與電子束式蒸發(fā)技術(shù)。電阻式蒸發(fā)源主要用于蒸發(fā)金屬膜（鋁、銀、鉻等材料），電子束式蒸發(fā)源用于蒸發(fā)高溫氧化物等介質(zhì)膜。離子束輔助用于改善膜層附著力、降低氧化物吸收和提高環(huán)境穩(wěn)定性。