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該設(shè)備主要應(yīng)用于大型天文望遠(yuǎn)鏡主鏡鍍膜，最大可裝載2.6米量級主鏡鍍制；設(shè)備配置四套電子束蒸發(fā)源、3套離子輔助沉積源；搭載多功能行星公自傳裝件機(jī)構(gòu)，配套10噸載荷液壓裝件小車及工件翻轉(zhuǎn)小車，能實(shí)現(xiàn)多種類、多尺寸、多功能性的薄膜制備。